Jingrui成功购买了ASML XT 1900 Gi光刻机,该光刻机可以开发最大分辨率为28nm的高端光刻胶

经锐股份发布公告:经过多方协商和积极运作,公司已成功购买了ASMLXT1900Gi光刻机。该光刻机于2021年1月19日到达苏州,并成功进入该公司的高端光刻胶研发实验室,并将很快进行调试。
此外,此ASMLXT1900Gi ArF浸没式光刻机可用于开发最大分辨率为28nm的高端光刻胶。 IT Home获悉,京瑞股份于2020年9月28日晚宣布将进行高端集成电路制造的光刻胶研发项目,并计划通过TestTechnologyPTE.LTD从韩国SKHynix进口ASML光刻设备。
,总价为1102.5万美元(折合7508万元人民币)。 ASMLXT1900Gi光刻机不是先进的工艺光刻机,但它并不容易,并且在这一关键时刻具有重要意义。
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